陜西半導(dǎo)體項(xiàng)目加速推進(jìn) 填補(bǔ)8英寸制造領(lǐng)域空白
來(lái)源：西安晚報(bào) 2024-12-26 10:25
正在施工的高新區(qū)8英寸高性能特色工藝半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)線項(xiàng)目 記者 王健 攝
作為陜西發(fā)展半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的重點(diǎn)項(xiàng)目、2024年市級(jí)重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目，由陜建七建集團(tuán)施工的高新區(qū)8英寸高性能特色工藝半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目建設(shè)進(jìn)度條持續(xù)刷新。
12月25日，在該項(xiàng)目舉行的媒體開(kāi)放日中，記者了解到，項(xiàng)目將于今年年底前全面封頂，建成后將填補(bǔ)我省8英寸半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的空白。
巨型“華夫板”結(jié)構(gòu)
展現(xiàn)納米級(jí)潔凈廠房建造
機(jī)器轟鳴，成群結(jié)隊(duì)的工程機(jī)械來(lái)回穿梭，頭戴安全帽、身系安全帶的建筑工人在各自崗位上忙碌著……在現(xiàn)場(chǎng)施工管理人員的精準(zhǔn)調(diào)度下，數(shù)十臺(tái)各類機(jī)械分頭作業(yè)，數(shù)百名工人有條不紊的奏響著建筑“進(jìn)行曲”。這是記者在位于西安市高新綜合保稅區(qū)內(nèi)，8英寸高性能特色工藝半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目施工現(xiàn)場(chǎng)看到的一幕。
在工作人員的帶領(lǐng)下，記者進(jìn)入到項(xiàng)目核心區(qū)域生產(chǎn)廠房的施工現(xiàn)場(chǎng)。剛走到二樓，抬頭望向天花板，一塊呈現(xiàn)出網(wǎng)格狀紋理的巨型華夫板很是吸睛?！斑@是三萬(wàn)多組華夫筒拼接的，也是項(xiàng)目最特殊的地方。”項(xiàng)目技術(shù)質(zhì)量組副組長(zhǎng)王海松介紹說(shuō)，與其他行業(yè)的高科技廠房建設(shè)相比，半導(dǎo)體行業(yè)工程建設(shè)極具特殊性，為確保后期生產(chǎn)設(shè)備安裝精度以及電子元件制造過(guò)程中不受到塵埃和其他微粒的污染，空氣潔凈度和生產(chǎn)車間內(nèi)的抗微震性需要嚴(yán)格把控。此次建設(shè)的廠房為高潔凈度生產(chǎn)廠房，核心生產(chǎn)區(qū)域可達(dá)納米級(jí)“十級(jí)”潔凈度（ISO 1級(jí)）潔凈度，比醫(yī)院最高等級(jí)手術(shù)室潔凈度的要求提高了100倍。
為此，該項(xiàng)目需要采用目前先進(jìn)的華夫板（利用樓板內(nèi)孔洞形成回風(fēng)通道的樓板）樓面，內(nèi)含80厘米和70厘米兩種高度共計(jì)30249個(gè)華夫筒，一次性組合完成14000余平方米的華夫板結(jié)構(gòu)層?！芭c普通樓板相比，華夫板的中間預(yù)留了大量圓柱形垂直孔洞，以形成回風(fēng)通道，從而建立起潔凈空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)。潔凈車間中含微粒的氣流經(jīng)由華夫板可以重新過(guò)濾出潔凈且穩(wěn)定的氣流?！表?xiàng)目機(jī)電負(fù)責(zé)人王冠說(shuō)，華夫板施工質(zhì)量的好壞將直接影響到整個(gè)廠房潔凈車間使用功能的發(fā)揮，因此如何控制華夫板的施工質(zhì)量是本工程的重中之重。
記者了解到，為達(dá)到任意2米范圍內(nèi)高差小于2毫米的高精地坪要求，確保混凝土面堅(jiān)硬不起灰、沒(méi)有蜂窩麻面，施工團(tuán)隊(duì)對(duì)模板安裝各環(huán)節(jié)進(jìn)行標(biāo)高控制；混凝土澆筑前采用精密水準(zhǔn)儀及靠尺，對(duì)已安裝完成的華夫筒進(jìn)行復(fù)核和驗(yàn)收；混凝土澆筑過(guò)程中，采用激光整平儀配合找平；混凝土澆筑找平完成后，再次使用精密水準(zhǔn)儀配合2米靠尺，每50厘米方格網(wǎng)復(fù)核一次樓面標(biāo)高，及時(shí)進(jìn)行標(biāo)高調(diào)整，最終達(dá)到高精水準(zhǔn)。
高效施工填補(bǔ)
陜西半導(dǎo)體制造領(lǐng)域空白
隨后，記者跟隨工作人員沿著樓梯繼續(xù)向上，到達(dá)生產(chǎn)廠房第三層的施工區(qū)域時(shí)，巨大的鋼結(jié)構(gòu)屋架就映入眼簾。“為滿足后期半導(dǎo)體設(shè)備能夠更便捷地進(jìn)行移動(dòng)與更換，項(xiàng)目房蓋鋼桁架跨度設(shè)計(jì)就比較大，單跨跨度就能達(dá)到43.2米和46.8米，整榀桁架重達(dá)140噸，其安裝工程屬于超過(guò)一定規(guī)模的危險(xiǎn)性較大的分部分項(xiàng)工程?！表?xiàng)目經(jīng)理李虎讓說(shuō)。
這么大的體量，如何采取有效的安全技術(shù)措施，確保鋼屋架的吊裝？為找到最合適的方案，項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)根據(jù)施工現(xiàn)場(chǎng)的特點(diǎn)，決定采用汽車吊上樓面拼裝的施工方案，將廠房劃分為4個(gè)施工段，每個(gè)施工段配合2臺(tái)50噸汽車吊吊裝，大大提高了施工效率，共計(jì)4000多噸的鋼結(jié)構(gòu)僅用一個(gè)月就完成了施工。
據(jù)悉，8英寸高性能特色工藝半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目總建筑面積約17.39萬(wàn)平方米；由生產(chǎn)廠房、生產(chǎn)調(diào)試廠房、綜合動(dòng)力站、特氣站、硅烷站及各類庫(kù)房等17棟單體組成。“電子廠房建設(shè)工期短、節(jié)奏快、質(zhì)量要求高、資金量投入大，這也就對(duì)建設(shè)者的項(xiàng)目管理提出了更高的要求。在建設(shè)過(guò)程中，我們投入了大量的人力，廠房施工中工人數(shù)量最多時(shí)能達(dá)到1300余人，為了調(diào)度如此龐大的施工團(tuán)隊(duì)和土建、鋼構(gòu)、機(jī)電、工藝設(shè)備以及潔凈工程等多個(gè)工序，項(xiàng)目指揮部采取了一系列精細(xì)化管理措施和資源配置計(jì)劃。”項(xiàng)目指揮部現(xiàn)場(chǎng)常務(wù)執(zhí)行指揮長(zhǎng)楊曉棟說(shuō)。
也正因如此，項(xiàng)目從地基處理到主體結(jié)構(gòu)建設(shè)，從綁扎鋼筋到混凝土澆筑，每一個(gè)環(huán)節(jié)都能如期順利實(shí)施并完成，僅6個(gè)月就實(shí)現(xiàn)了項(xiàng)目主體封頂。未來(lái)項(xiàng)目建成后，將彌補(bǔ)“陜西芯”制造業(yè)短板，增強(qiáng)陜西集成電路產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力和聚集力，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)上下游順暢銜接。
近年來(lái)，“中國(guó)屏”“中國(guó)芯”等高科技電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展極大緩解了我國(guó)曾經(jīng)“缺芯少屏”的尷尬，隨著我國(guó)不斷加大高科技電子廠房的投入，這些代表民族工業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力的背后，少不了“超級(jí)廠房”的保駕護(hù)航，這些彰顯中國(guó)制造崛起騰飛的“超級(jí)廠房”的建設(shè)也吸引了眾多目光。楊曉棟說(shuō)：“在陜西高科技電子廠房的高效建設(shè)與核心技術(shù)快速提升，科技電子產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力不斷增強(qiáng)的發(fā)展趨勢(shì)下，我們將繼續(xù)深入研究高精廠房的建造技術(shù)，以強(qiáng)大的專業(yè)能力為陜西制造保駕護(hù)航，以品質(zhì)助力并‘建’證‘中國(guó)芯’‘陜西芯’的進(jìn)步和發(fā)展?！?/p>
記者 龔偉芳
